摘要
本发明公开了一种通过激光诱导前向转移制备微透镜阵列的方法与装置,包括激光器、光路调节模块以及材料转移模块,光路调节模块用于调整激光束的传递光路,光路调节模块具有光路进口和光路出口;材料转移模块包括第一XYZ轴移动平台、接收基片和透明基片,接收基片平行设置在透明基片下方,透明基片的下端面设有凹槽,所述凹槽内设有吸收层,吸收层下方设有材料转移层。激光束经光路模块后,聚焦并通过透明基片,吸收层中被激光束照射的部分汽化,在吸收层内部形成气泡,推动材料转移层中的材料,材料滴落到接收基片,在接收基片上形成阵列状的液滴,液滴固化后形成微透镜阵列。本发明无需制备掩模,缩短小规模生产中的生产周期,降低生产成本。
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