摘要
为了对镁合金表面微弧氧化陶瓷膜进行导电改性,采用溶胶-凝胶法在镁合金微弧氧化膜表面制备了掺铝氧化锌(ZnO:Al, AZO)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、盐雾试验、四探针测试仪等分析测试手段,研究了涂膜层数和退火温度对AZO薄膜的表面形貌、微观结构、耐蚀性和导电性的影响。结果表明:所制备的导电薄膜由c轴择优取向的六角纤锌矿结构的晶体构成;随着涂膜层数和退火温度的增加,薄膜的方块电阻降低。制备的AZO薄膜自身的耐蚀性较差,并且增加涂膜层数并不能明显改善导电薄膜的耐蚀性。通过研究影响膜层耐蚀性的主要因素,为今后进一步优化工艺从而改善透明导电薄膜的耐蚀性奠定了基础。
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单位中国空空导弹研究院; 西北工业大学