微阵列制备机器人分向前馈误差补偿控制

刘飞; 吴丹; 陈恳; 宋立滨; 潘玉龙

doi:10.16511/j.cnki.qhdxxb.2011.05.015

摘要

为了提高半闭环微阵列制备机器人的定位精度,根据机器人运动误差具有方向性的特点,提出了分向前馈误差补偿技术。建立了微阵列制备机器人系统误差前馈补偿的传递函数模型,对系统的准确性、快速性与稳定性进行分析,从理论上证明该方法在提高机器人精度方面是可行有效的。研究并实施了回程误差与其他非线性误差的分向补偿算法。在清华大学开发的THU-biorobot微阵列制备机器人上进行了实验研究。结果表明:补偿后机器人的定位精度在±5μm以内,系统动态性能也有显著提高,能够满足微阵列制备要求。

单位
摩擦学国家重点实验室; 清华大学

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更新时间：2020-06-17 00:30

微阵列制备机器人分向前馈误差补偿控制

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