微小缝隙式层流流量计设计及测量特性研究

作者：王筱庐; 陈玉春; 蒋宇翔; 张凯

来源：仪器仪表学报, 2019, 40(11): 48-54.

DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.J1905584

• 层流流量计
• 微小气体流量
• 缝隙式
• 不确定度
• 线性度

为解决层流流量计(LFM)线性度不佳的问题,提出了一种微小缝隙式LFM,并介绍了层流流量计的测量原理、结构设计及参数计算。对一台设计流量范围约为0～280 mL/min的试验件进行了试验,试验中使用的标准装置为活塞标准装置,合成不确定度为0.12%,扩展不确定度为0.24%(k=2)。试验结果显示,在未使用任何修正系数的前提下,试验件最大引用误差为-0.90%。试验件基本达到准确度1.0级的设计指标,量程比10∶1。此外试验件线性度优良,其Remaxde/l值为3.42,大于传统要求的2～2.5,说明此结构设计可有效克服突扩突缩带来的非线性影响。

• 单位
  西北工业大学; 陕西易度智能科技有限公司