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摘要
利用制作在P-DBRs表面的亚波长金属光栅,在980 nm高功率底发射垂直腔面发射激光器有源区引入各向异性增益,达到了偏振控制的目的。本光栅基于等效介质理论和抗反射理论设计而成,光栅周期为186 nm,占空比为0.5。通过多物理场有限元分析软件对所设计的光栅进行了模拟分析,结果基本上符合设计要求。通过优化工艺步骤得到了较好的实验结果,550μm孔径的VCSEL在正交方向上的偏振比为3,输出功率达到870 mW。
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单位中国科学院研究生院; 发光学及应用国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
