基于As_(40)Se_(60)硫系玻璃的长波红外增透膜研制

作者：刘卓; 张友良; 李刚; 杨伟声; 王雪颖; 谢启明; 杨晓京

来源：激光与光电子学进展, 2022, 1-9.

• 增透膜
• 硫系玻璃
• 连接层
• 红外光学
• 残余应力

As_(40)Se_(60)硫系玻璃基底沉积红外光学薄膜存在牢固性不足的缺点，以膜层牢固性为研究对象来解决膜层附着力问题。首先选择了合适的膜层材料，完成了膜系的设计及优化；然后以沉积温度为影响因素进行单因素试验，研究了 ZnS 连接层的镀制工艺和残余应力，采用无离子源辅助的办法降低了连接层的残余应力，提高了膜层附着力；最终解决了较高温度下的薄膜脱膜问题，研制了一种透过波段为 8～12μm 的红外增透膜，并确定了镀制工艺运用于实际生产。所制备的薄膜平均透过率为 98%、平均反射率为 0.6%，附着力、高低温、湿热实验满足 GJB2845-1995 标准中的要求。

• 单位
  昆明理工大学; 机电工程学院