一种L～Ka波段的双边多触点型RF MEMS单刀六掷开关

作者：陈玉; 吴倩楠; 湛永鑫; 李晓琪; 郭宏磊; 李孟委^*

来源：微电子学, 2023, 53(02): 326-332.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.220136

• 单刀六掷开关
• MEMS
• 多通道
• 高隔离度

目前通讯、导航等领域对单刀多掷开关有广泛的需求，而此类开关存在体积大、工作频带窄、插入损耗大、隔离度低等问题。文章设计了一种串联接触式双边多触点型RF MEMS单刀六掷开关。开关的下电极上设有三个圆形触点，远端连接有喇叭状过渡带，其上是带有带状孔的“X”形上电极，通过减小接触电阻和耦合电容来改善射频性能。经HFSS软件仿真优化，该开关工作频率可覆盖L～Ka波段，且在26.5 GHz下，插入损耗≤0.3 dB,隔离度≥37 dB,性能良好，尺寸为1.05×1.05×0.5 mm3。结果表明，设计的单刀六掷开关射频性能具有较大优势，同时满足小型化的要求，因此在L～Ka波段的导航、认知无线网络以及微波测试等领域具有较大的应用前景。

• 单位
  物理学院; 中北大学