建立了一种用于光电子封装的6自由度刚柔混合的柔性并联运动平台,柔性铰链的加入使整个平台的精度均有所提高。利用ANSYS构建柔性并联机器人中的柔性模块,应用Solid Works建立并联机器人的虚拟样机简化模型,利用ADAMS软件对并联机器人进行了仿真。仿真结果表明:柔性并联平台的位置和旋转精度满足设计要求。