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摘要
本发明属于薄膜晶体管技术领域,公开了一种柔性基板半嵌入式栅极薄膜晶体管及其制备方法。所述薄膜晶体管包括柔性基板和柔性基板上的栅极,所述柔性基板上设有矩形凹槽,所述栅极下部矩形区域刚好嵌入至矩形凹槽内,栅极上部梯形区域凸出于矩形凹槽外。与现有的堆栈式底栅顶接触的薄膜晶体管和全嵌入式栅极的薄膜晶体管结构相比,本发明有利于绝缘层薄膜和有源层薄膜的内部及接触界面的缺陷减少,提高器件的性能。且本发明在对嵌入栅极后的柔性基板进行表明清洗时,可有效去除可能存在于凹槽内边角处的杂质和清洗剂,洁净度更高,器件质量更好。
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