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摘要
该文研究了在超高性能声表面波(I.H.P. SAW)衬底上，孔径总长对叉指末端具有能够抑制横向模态的小锤结构的谐振器性能。在衬底结构为Y 42°-钽酸锂(Y42°-LT)/SiO2/多晶硅(Poly-Si)/Si上，通过建立对应的有限元三维仿真模型，初步得出在小锤结构下孔径总长的增大能够抑制横向模态杂散的结论。绘制了周期T为1.44μm、2μm、2.56μm下，孔径总长为7.5T、10T、15T、20T、25T、32.5T、40T的单端口谐振器版图并进行流片。通过实测结果表明，在不同周期下，随着孔径总长的不断增加，对谐振器横向模态的抑制会不断增强，机电耦合系数也不断增加，在孔径总长约为20T时阻抗比最高。仿真和实测结果体现了孔径总长对I.H.P. SAW谐振器的性能影响较大，为应用于I.H.P. SAW滤波器中的高性能谐振器提供了设计指导。
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