基于专利导航和文献综述的薄膜热电偶技术发展分析

作者：唐瑞; 肖洁; 吴洋; 张弛; 要文波; 李传友

来源：计量与测试技术, 2023, 50(04): 25-29.

DOI：10.15988/j.cnki.1004-6941.2023.4.007

• 专利导航
• 薄膜热电偶
• 综述

本文结合专利导航分析和文献综述，对薄膜热电偶专利申请、技术分布、创新主体等展开分析。结果表明：在航空发动机、精密车床、燃料电池等产业的牵引下，薄膜热电偶正处于高速发展阶段，其制备工艺会随微纳加工技术不断进步，且温度敏感元件已从标准热电偶材料向非标、陶瓷、复合等更多方向拓展，目前，中国已成为全球最主要的薄膜热电偶研究地区。因此，应重点关注高温、陶瓷基和复合薄膜热电偶的开发，以及与先进MEMS工艺的结合。

• 单位
  国网重庆市电力公司; 安徽天康（集团）股份有限公司; 重庆材料研究院有限公司; 国家仪表功能材料工程技术研究中心