氧化锌铝陶瓷靶材制备工艺研究

作者：唐培新; 吕周晋^*; 车立达; 吴战芳

来源：粉末冶金工业, 2023, 33(04): 22-26.

DOI：10.13228/j.boyuan.issn1006-6543.20220173

• AZO陶瓷靶材
• 烧结
• 电阻率
• 喷雾干燥
• 热等静压

AZO靶材是一种透明导电氧化锌合金靶材，具有优异的导电性和透明度，广泛应用于太阳能电池、液晶显示器、光电器件等领域。实验采用喷雾干燥工艺制备粉末+冷等静压成形+常压烧结法制备了掺铝氧化锌AZO陶瓷靶材。研究了不同烧结温度对氧化锌铝陶瓷靶材性能的影响，确定了最佳的工艺参数。研究结果表明，采用喷雾干燥制粉+冷等静压成形+1 300℃无压烧结，可以制备致密度达到99%，平均晶粒尺寸为20μm左右，电阻率为10-3Ω·cm，含有少量ZnAl2O4物相的AZO靶材。热等静压实验发现，热等静压可以将烧坯密度从97.2%提升至100%，达到理论密度。超高致密靶材可以承受更高功率、长时间溅射而不开裂，可以大幅提高溅射效率。