一种功率半导体器件栅氧化层状态监测系统及其使用方法

作者：何怡刚; 孙豪; 李志刚; 曹志煌; 谢辉; 王涛; 朱战伟; 袁莉芬; 阮义; 袁伟博

来源：2021-06-15, 中国, CN202110661982.9.

一种功率半导体器件栅氧化层状态监测系统,包括依次连接的电源、恒温箱、测量设备,所述测量设备通过控制器控制,所述恒温箱内置功率器件,所述电源用于施加电场；所述恒温箱用于控制功率器件的偏置温度；所述控制器用于控制电源对功率器件栅氧化层施加电场的时间与强弱；所述测量设备利用常数电流法测量功率器件的阈值电压并传送给控制器存储。本发明还包括一种功率半导体器件栅氧化层状态监测系统的使用方法。本发明可实现在线监测,监测过程不影响功率器件的工作,可直接用于功率器件的栅氧化层状态监测并在此基础上进一步用作功率器件的寿命评估。

• 单位
  国网安徽省电力有限公司; 合肥工业大学