<正>西安工业大学研究了利用脉冲电弧离子镀技术制备类金刚石(DLC)薄膜的工艺及方法,并对其抗激光损伤特性进行了分析测试,得出了该制备技术下DLC薄膜抗激光损伤阈值的最佳制备工艺条件和最显著影响因素;研究了非平衡磁控溅射技术制备DLC薄膜的工艺及方法,并对其抗激光损伤特性进行了分析测试,获得了此制备技术下DLC薄膜抗激光损伤阈值的最佳制备工艺条件和最显著影响因素;在分析论证薄膜激光损伤机理的基础上,
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