真空应用设备检漏方法的探讨

作者：王春明; 张明达; 苏玉萍

来源：真空, 2019, 56(01): 52-55.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2019.01.11

• 真空应用设备
• 真空检漏方法
• 氦质谱检漏仪
• 喷吹检漏法

本文首先浅述了氦质谱检漏技术的原理和喷吹检漏法,并以真空应用设备中的真空炉为例,针对其在实际生产中常见的几种泄漏问题进行了细致分析并制定了解决方法。