摘要

利用不同粗糙度的高纯铝箔在0.3 M草酸中制备阳极氧化铝模板,采用有限元数值分析方法建立二维模型,研究粗糙度对氧化电场的影响。研究表明,随粗糙度由5 nm增大到50 nm,模板孔间距从80 nm减小至70 nm;铝箔表面的显微不平造成了反向电场。粗糙度增大使反向电场增强,膜内的平均电场被削弱,从而使模板孔间距减小。

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