异质结场效应晶体管

作者：毛维; 王海永; 杨翠; 张金风; 马佩军; 郑雪峰; 王冲; 张进成; 马晓华; 郝跃

来源：2020-07-28, 中国, ZL202010735936.4.

本发明公开了一种异质结场效应晶体管,主要解决现有功率开关器件存在的阈值电压低和实现高击穿电压时工艺复杂的问题,其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、第一栅柱(6)、第二栅柱(7)、源极(9)、漏极(10)、台面(11)、第一栅极(12)、第二栅极(13)和钝化层(14)。第一栅柱和第二栅柱均由P型层(4)和N型排柱(5)组成；N型排柱由N-型层(51)和N+型层(52)组成；第一栅柱左侧的势垒层内和第二栅柱右侧的势垒层内均刻蚀有阵列孔(8)；钝化层上部设有复合板(15)；钝化层和复合板的外围设有保护层(16)。本发明制作工艺简单、正向阻断与反向阻断好及阈值电压高,可作为开关器件。

• 单位
  西安电子科技大学