用于热阴极的热子绝缘层研究

作者：邯娇; 张连正; 任峰; 赵庆兰; 李云; 阴生毅; 王小霞

来源：真空电子技术, 2020, (01): 48-62.

DOI：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.01.06

• 微波真空电子器件
• 热阴极
• 热子
• 绝缘层

研究了热子涂层的原材料粒度对热子绝缘层质量的影响,粒度过细或过粗,涂层附着不均匀,烧结后涂层表面开裂、起皮、粗糙、掉粉严重。采用粒度级配的配比方案制备了氧化铝涂层,电镜分析表明,涂层致密,质量得到明显改善;与原有工艺相比,氧化铝涂层抗压能力提高了1倍。

• 单位
  中国科学院电子学研究所