“MEMS和MOEMS技术”专题征文通知

来源：半导体光电, 2022, 43(03): 626.

<正>微机电系统(MEMS)技术,特别是MEMS微细加工技术,带动了光学器件小型化的发展,在许多应用领域产生了实质性的影响。微光机电系统(MOEMS)是由光学、微机械、微加工等相结合而产生的一种新兴光学技术,近年来,在MEMS领域受到越来越多的关注。MOEMS可以通过微执行装置实现对光的衍射、散射和折射等的控制,最终实现光开关、光显示、光扫描等功能。开展MOEMS技术的研究,不仅可以带动相关基础课题的研究,也可以促进新型光学器件的开发。MOEMS是一项学科交叉性和综合性都很强的高新技术,目前该技术的发展虽已有一定的时间,但基础理论和应用技术等方面还需要进一步的研究。