硬质合金EBSD分析的影响因素

作者：李园园; 徐银超; 林江华; 高跃红; 温光华; 陈响明

来源：硬质合金, 2014, 31(06): 353-360.

• 硬质合金
• EBSD
• SEM图像
• 菊池花样
• 标定
• 降噪声

运用电子背散射衍射(Electron Backscattering Diffraction,EBSD)技术,通过对硬质合金样品进行大量EBSD实验,从样品表面SEM分析、菊池花样分析、Indexing&MAD分析、采集前后晶粒形貌对比以及Noise Reduction五个方面阐明硬质合金EBSD分析的影响因素。以WC-6%Co(质量分数)硬质合金的EBSD实验为例,实验中得到"新鲜"的SEM图像,清晰的EBSP,高达88%的WC Indexing及平均值为0.33的MAD指数,EBSD结果相对SEM图像无明显漂移,表明获得的EBSD分析结果具有较高的质量。

• 单位
  硬质合金国家重点实验室; 株洲钻石切削刀具股份有限公司; 粉末冶金国家重点实验室; 中南大学