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摘要
电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance, ECR)等离子体源是用来产生单电荷态离子束的等离子体装置，它可以产生束流较强或者较高的电荷态离子，同时还能提供束流的稳定性、重复性和工作寿命。引出系统的设计对ECR等离子体源是至关重要的，引出系统对等离子体的引出束流有直接影响，良好的引出系统设计可以提高引出束流强度。采用有限元分析方法对ECR等离子体源引出系统进行分析与设计，得到了满足设计需求与目标的引出束流。
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单位中国科学院; 中国科学院合肥物质科学研究院; 安徽建筑大学
