一种基于玻璃浆料的标准漏孔密封方法

作者:王旭迪; 周问天; 花雨; 陈志强; 林文豫; 齐嘉东; 游徳学
来源:2018-12-07, 中国, ZL201811495502.0.

摘要

本发明公开了一种基于玻璃浆料的标准漏孔密封方法,首先使用光刻和热压键合工艺在硅片上制作通道型标准漏孔,再将可伐圆板焊接在可伐管内,并将KF40法兰焊接在可伐管一端,随后在可伐圆板与KF40法兰上打孔,之后将玻璃浆料涂覆在可伐管中的圆板面上,待加热烧结玻璃浆料完成玻璃化后,再盖上标准漏孔,重新加热到玻璃浆料的熔融温度,自然降温后可完成对可伐管与标准漏孔的密封。