光刻机投影物镜安装方式研究

作者：齐克奇

来源：光机电信息, 2011, (08): 22-26.

• 投影物镜
• 安装方式
• 隔振方式
• 投影光刻系统 projection lens
• installation methods
• method of vibration isolation
• lithography projection system

不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响。对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究,并对各自特点进行了讨论。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室