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摘要
片上变压器是使用MEMS技术制造的电感线圈。传统的隔离通讯设备采用的是分立式元件,体积大、功耗高并且不利于集成在同一个管壳内。片上变压器则可以克服传统隔离设备的缺点,具有高耦合系数、低功耗以及可集成等特性,在应用上具有非常明显的优势。基于片上变压器,设计了一款四通道数字隔离器,可以传输90 Mbps的数字信号,使用SMIC公司0.18μm BCD工艺作为流片工艺并成功流片。芯片工作范围为35 V,工作温度范围为-40+125℃,传输延迟达到40 ns,数据传输速率为DC-90 Mbps。
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单位中国电子科技集团公司第五十八研究所
