科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明公开了一种基于局域表面等离激元效应的二硫化钼光电探测器,包括：由下至上依次设置的衬底、银薄膜反射层、SiO-2层和MoS-2二维材料层；MoS-2二维材料层表面设置有绝缘间隔层、第一金属电极和第二金属电极；绝缘间隔层上表面沉积有等离激元结构阵列。本发明通过等离激元结构阵列提高MoS-2二维材料层的光吸收以实现器件的光响应显著增强。同时,增加了银薄膜反射层使其与SiO-2层构成银镜结构,对入射光进行反射,进一步降低了器件的光透射,极大地提高了MoS-2光电探测器对可见光的吸收效率。此外,金属纳米圆柱结构具有较小的结构尺寸,可通过调节其尺寸和介质等参数实现对不同波段光的吸收。
- 单位
