脉冲磁控溅射MoS2涂层的组织结构及摩擦学性能

作者：但敏^*; 罗蓉蓉; 周毅; 李建; 金凡亚

来源：稀有金属材料与工程, 2019, 48(08): 2716-2722.

• 单极性脉冲磁控溅射
• MoS2
• 力学性能
• 摩擦学性能

采用单极性脉冲磁控溅射技术在A286基体表面制备MoS2低摩擦系数涂层(LFC)。利用XRD、SEM等手段表征涂层的成分与微观组织;采用原位纳米力学测试系统、球-盘式摩擦磨损试验机分析涂层的力学和摩擦学性能,并探讨了脉冲偏压对涂层结构、力学和摩擦学性能的影响。结果表明,脉冲偏压由300V增加到600V,MoS2涂层择优取向发生了(002)向(100)转变,当脉冲偏压增至800 V时又恢复(002)择优取向;随着脉冲偏压的增加,涂层的硬度及弹性模量出现先减小后增大趋势,摩擦系数在0.065～0.076范围内波动,呈现出先增大后减小趋势;偏压为800 V的涂层摩擦学性能最佳,其磨损率仅为基体的13.5%。

• 单位
  核工业西南物理研究院