基于多孔结构和微结构的柔性电容式压力传感器及方法

作者:李迎春; 李欣樾; 刘彦楠; 常晶晶; 白建斌; 康乐海; 林宸旭
来源:2023-05-11, 中国, CN202310525933.1.

摘要

基于多孔结构和微结构的柔性电容式压力传感器及方法,包括上下两个平行电极,两个平行电极之间设有多孔结构泡沫层,在多孔结构泡沫层的上下表面化学合成导电聚合物,再附加带有微结构弹性体层,上下平行电极采用导电胶带或导电薄膜,分别直接延伸用作与外接设备相连接的引线。该方法采用气相氧化聚合的方式将导电聚合物沉积在泡沫材料中;将弹性体材料涂于微结构化的模板上,得到微结构弹性体层,将聚合好的多孔结构泡沫层轻置于其上,粘附后进行加热固化,重复此步骤制备双面微结构;将导电胶带或导电薄膜置于上下两侧作为上下平行电极,并直接延伸用作与外界设备相连的引线,使用防水透气胶带进行封装。本发明具有高灵敏度、稳定性好的特点。