一种减少喷墨打印薄膜表面裂纹的热处理方法

作者：宁洪龙; 朱镇南; 姚日晖; 蔡炜; 魏靖林; 李晓庆; 张啸尘; 周尚雄; 袁炜健; 彭俊彪

来源：2018-01-26, 中国, ZL201810078909.7.

本发明属于喷墨打印电子器件的技术领域,公开了一种减少喷墨打印薄膜表面裂纹的热处理方法。热处理方法为：(1)溶液的配制：采用溶剂将聚合物和金属氧化物的前驱体配成溶液；所述溶液为添加了聚合物的能够采用溶胶凝胶法成膜的体系；所述聚合物为水溶性聚合物；(2)喷墨打印薄膜：将步骤(1)的溶液喷墨打印成膜,获得凝胶化薄膜；(3)热处理：将凝胶化薄膜于60～80℃干燥15～48h,然后梯度退火,最后高温热处理,获得打印薄膜。本发明的热处理方法减少了喷墨打印薄膜表面裂纹,使得所制备的薄膜表面平整与致密,提高了薄膜的性能。

• 单位
  华南理工大学