激光三角位移传感器误差补偿的建模研究

作者：朱庆芹; 刘昕伟; 孙浩

来源：激光杂志, 2023, 44(03): 242-246.

DOI：10.14016/j.cnki.jgzz.2023.03.242

• 激光三角
• 位移传感器
• 误差补偿
• 非线性误差
• 神经网络
• 映射关系

为降低激光三角位移传感器非线性误差对其测量精度的影响，研究了激光三角位移传感器误差补偿的建模方法。深入了解激光三角位移传感器工作原理，在此基础上定量分析该传感器非线性误差。利用神经网络构建激光三角位移传感器误差补偿模型，使用多层神经网络获取线阵CCD与接收透镜之间的夹角。以及入射光线与接收透镜之间的夹角的映射关系。运用所得映射实现激光三角位移传感器误差补偿。实验结果表明：激光三角位移传感器的重复性优良，且测量时的光斑在线阵CCD上的成像质量较为优异。该方法补偿后的激光三角位移传感器残差大幅度下降，最大下降幅度约为46%。将待测物体表面粗糙度控制在5.6μm～9.6μm范围内，可获得更好的激光三角位移传感器误差补偿效果。

• 单位
  北京交通大学海滨学院; 电气学院