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摘要
为提高折射率传感中的灵敏度和品质因数，提出一种光栅辅助狭缝微环谐振器，该结构在狭缝微环的基础上引入光栅结构来实现不同波长处的类电磁诱导透明(EIT-like)效应，从而获得更高的灵敏度和品质因数。利用传递矩阵法建立嵌孔微环谐振器频谱计算和参数优化的数值模型。采用有限差分时域(FDTD)方法对所提器件结构的传输频谱和谐振腔的电场分布进行模拟仿真，并讨论器件结构参数的影响。结果表明：所提器件实现了EIT-like效应；在折射率传感应用中，所提器件的品质因素为35495，灵敏度高达360 nm/RIU(RIU为折射率单位)，与参数相似的常规微环谐振器相比，灵敏度提高了270 nm/RIU；所提器件的灵敏度检测下限为2.3×10-4RIU。
- 单位
