基于悬空槽波导的高灵敏度折射率传感器

作者：廖莎莎^*; 赵帅; 张伍浩; 张艺达; 唐亮

来源：光学学报, 2023, 1-17.

• 硅光子学
• 折射率传感器
• 马赫曾德尔干涉仪
• 灵敏度

本文介绍了一种基于绝缘体上硅(SOI)的马赫曾德尔干涉仪(MZI)型高灵敏度折射率传感器。在该传感器中采用悬空槽(SSlot)波导的作为传感臂，条形波导作为参考臂，利用两臂不同模式之间的干涉提高传感器的灵敏度。本文分析了MZI型传感器的工作原理，推导了灵敏度公式，通过灵活调节两臂长度和合理设计SSlot波导，实现了9.824×104 nm/RIU的高灵敏度。该传感器还具有尺寸小，制造简单等优势,可广泛应用于生物医疗、环境监测等领域。

• 单位
  重庆邮电大学; 通信与信息工程学院