为确保α、β低本底测量仪测量的可靠性,对其影响因素进行了分析建模,并设计了仿真软件进行计算,所得数据与实验验证结果有很好的一致性。结果表明影响α、β低本底测量仪测量可靠性最主要因素有仪器探测效率和样品测量,需提高样品测量过程中的精确度,减少制作质量-效率曲线时人为的操作误差。仿真软件可用于实验室α、β低本底测量仪测量及可靠性评估,能够提高测量的时效。