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摘要
本发明的一种基于单像素的非成像晶圆表面缺陷检测方法及存储介质,包括将预设编码照明图案投射到待测晶圆表面,以使所述编码照明图案经待测晶圆表面得到反射图案；采集所述反射图案的光强值,将光强值与缺陷图案进行数据分割与标签化处理；通过特征选择算法选取高相关性K个特征,并反推得到新的编码照明图案组合；将新的编码照明图案组合投射至其他待测晶圆表面之后采集反射光强值并进行特征抽取,把抽取的特征通过随机森林算法实现对晶圆缺陷的检测。本发明无需事先成像,可以直接获取待测晶圆表面的信息,因此不受物体成像质量的限制,减少光学系统、噪声、图像畸变等因素的影响,特别是避免了虚像问题,提高了晶圆表面缺陷检测的鲁棒性。
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