基于MOEMS工艺制作柔性光学传感器

作者：陈四海; 潘峰; 付小朝; 柯才军; 汪殿民; 向思桦; 赖建军; 易新建

来源：半导体光电, 2005, 26(z1): 64-66.

DOI：10.3969/j.issn.1001-5868.2005.z1.018

• 柔性传感器
• 硅岛阵列
• 微光机电系统(MOEMS)技术

基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法.首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔性的结构.利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性,又具有一定的强度,而且与传统的硅工艺相兼容.

• 单位
  华中科技大学