在石英纤维丝上对向靶材直流反应磁控溅射沉积氧化铝薄膜

作者：王美涵; 高博文; 陈昀

来源：沈阳大学学报(自然科学版), 2018, 30(06): 431-435.

DOI：10.16103/j.cnki.21-1583/n.2018.06.001

• 直流反应磁控溅射
• 对向靶材
• 氧化铝薄膜
• 石英纤维丝

采用对向靶材直流反应磁控溅射法,以金属铝为靶材,高纯氧为反应气体,在石英纤维丝上沉积了氧化铝薄膜,并对氧化铝薄膜的晶体结构、化学组成和表面形貌进行了研究.结果表明,室温沉积的氧化铝薄膜具有无定形结构,其组成为非化学计量比的氧化铝.场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)显示在石英纤维丝上沉积的氧化铝薄膜致密且平整.沉积氧化铝薄膜的单根石英纤维丝的拉伸强度提高了1.85倍.

• 单位
  沈阳大学