PC树脂上沉积DLC薄膜耐磨性与透光性的研究

作者：褚颖; 成艳; 郑玉峰; 周艺; 王彦波; 熊晓玲; 魏世成

来源：表面技术, 2010, 39(4): 1-4.

DOI：10.3969/j.issn.1001-3660.2010.04.001

• PC树脂
• DLC薄膜
• PECVD
• 耐磨性
• 透光性

采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在聚碳酸酯(PC)树脂片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,以获得耐磨性和透光性良好的光学镜片.研究了薄膜的沉积工艺对PC基体镀DLc薄膜耐磨性和透光性的影响.结果表明:PC树脂片上沉积DLC薄膜后,耐磨性有极大的提高,摩擦系数降低了70%左右,显微硬度增加了约30%且随着沉积时间增加而增加,但透光率由约90%降至80%～70%.薄膜样品的耐磨性和透光性与样品的粗糙度、形貌及组成有关.

• 单位
  北京大学