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摘要
射线对材料影响的大小,是由吸收了多少放射线的能量而决定的。在处理器及存储、逻辑、混合信号等的硅半导体元件中,LET有一定的极限值。如果被超过这个极限值的放射线照射,就会引发各种不良现象;而α射线是具有高LET的放射线代表之一。随着高集成化时代半导体元件向数字化、超薄化、微型化的发展,精密封装中射线这一问题日趋严重。而锡焊料作为与半导体元件直接接触的焊接材料,因其中的α射线导致半导体元件误动作的影响不容忽视。本文通过射线对材料结构影响的研究,浅析射线对半导体元件的影响及去除α射线的发展趋势,并提出解决该课题的建议方案。
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单位云南锡业锡材有限公司
