一种双金属功函数栅的可重构场效应晶体管

作者:李相龙; 田明; 王昌锋; 孙亚宾; 李小进; 石艳玲; 廖端泉; 曹永峰
来源:2019-12-11, 中国, CN201911265131.1.

摘要

本发明公开了一种双金属功函数栅的可重构场效应晶体管,该晶体管包括纳米线沟道、包裹在纳米线沟道外侧的栅极氧化物、纳米线沟道一端的源极、纳米线沟道另一端漏极、分别设置在源极和漏极外侧采用不同金属功函数的控制栅极和极性栅极、分别设置在源极和控制栅极之间、漏极和极性栅极之间的边墙,设置在栅极氧化物外侧、控制栅极和极性栅极之间的栅极隔离。本发明可以通过分别改变控制栅极和极性栅极的金属功函数,分别调整可重构场效应晶体管N型和P型的开态电流和关态电流,实现N型特性和P型特性的一致性。