<正>出版社:化学工业出版社出版时间:2013-10-01ISBN:9787122176820所属分类:图书>工业技术>自动化技术产品检测在半导体、精密制造、包装印刷等行业应用广泛且需求迫切,但检测手段一直在离线检测(如工具显微镜、投影测量仪和体视显微镜等传统设备)或人工检测的技术中徘徊。近些年随着产品的高档化和微型化,加工订单的国际化,对检测的要求越来越高,精度从0.01mm向0.001mm过渡,计量
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