氧气浓度对ZnO薄膜光电性能的影响

作者：肖慧; 徐哈宁; 朱昌; 吴礽国

来源：中国科技信息, 2008, (20): 38-39.

• ZnO薄膜
• 磁控溅射
• 折射率
• 电阻率

采用磁控溅射法镀制ZnO薄膜,通过椭偏仪和四探针测试仪分析了氧气浓度对薄膜光电性能的影响。结果表明:随着氧分压的增加,薄膜折射率呈变大的趋势,电阻率升高,导电性能降低。

• 单位
  东华理工大学; 西安工业大学