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氧气浓度对ZnO薄膜光电性能的影响
作者:肖慧; 徐哈宁; 朱昌; 吴礽国
来源:
中国科技信息
, 2008, (20): 38-39.
ZnO薄膜
磁控溅射
折射率
电阻率
摘要
采用磁控溅射法镀制ZnO薄膜,通过椭偏仪和四探针测试仪分析了氧气浓度对薄膜光电性能的影响。结果表明:随着氧分压的增加,薄膜折射率呈变大的趋势,电阻率升高,导电性能降低。
单位
东华理工大学
;
西安工业大学
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