利用原子层沉积(ALD)技术在37CrMnMo钢表面沉积Al2O3超薄膜,通过极化曲线、电化学阻抗谱以及形貌表征,分析了薄膜的致密性以及薄膜厚度对基底的防护效果。结果表明:超薄Al2O3膜致密均匀,且薄膜孔隙率随其厚度的增加而降低;与合金钢基材相比,表面沉积150 nm厚Al2O3薄膜的37CrMnMo钢,其腐蚀电流密度降低了三个数量级;在0.1 mol/L NaCl溶液中,Al2O3薄膜对37CrMnMo钢基底腐蚀起到了良好的防护作用。