基于激光泰曼干涉仪的角锥反射镜误差测量

作者：胡国星; 赵寰; 任万杰; 拓锐; 林帅; 蔡晨

来源：光电技术应用, 2021, 36(04): 73-78.

• 激光泰曼—格林干涉
• 角锥反射镜
• 角度误差

推导了干涉法测量角锥反射镜的综合偏差与其二面角误差之间的关系,总结了干涉法测量角锥反射镜干涉图的特征与判读规则,并搭建激光泰曼—格林干涉仪对待测角锥反射镜进行了实测分析。实验结果表明,该理论方法和激光泰曼—格林干涉仪能够实现角锥反射镜二面角误差小于1″的精确测量。

• 单位
  山东非金属材料研究所