NSPGS5系列表压压力传感器 苏州纳芯微电子股份有限公司

来源：传感器世界, 2022, 28(07): 43.

<正>纳芯微推出表压压力传感器NSPGS5系列。该系列产品内部采用CMOS混合信号调理芯片对MEMS芯片的输出进行放大、校准和补偿，能将-10～10 kPa的压力信号转换为可自定义输出范围（0～5 V）的模拟信号以及数字I2C信号。同时，内置的MEMS差压压力芯片是基于高灵敏度的单晶硅压阻效应并采用先进的硅硅键合CSOI MEMS微加工工艺设计而成，MEMS芯片生命周期内精度和稳定性优于1%FS。