摘要

采用液相外延法、脉冲激光沉积法以及气相传输平衡法在Sr~(2+)∶α-BBO(001)衬底上生长了质量优异的β-BBO薄膜,对薄膜进行了X射线衍射测试以及双晶摇摆曲线分析,结果表明,采用Sr~(2+)∶α-BBO单晶作为衬底制备的β-BBO薄膜具有高的择优取向度和低的半峰宽值.同目前制备β-BBO薄膜所采用的其他衬底材料相比,Sr~(2+)∶α-BBO和β-BBO之间具有结构相似、透光范围匹配以及化学稳定性匹配的优点,表明Sr~(2+)∶α-BBO单晶将是生长β-BBO薄膜的优异衬底材料.