纳米硬质薄膜的研究进展

作者：陶斯武; 雷诺; 曲选辉

来源：稀有金属与硬质合金, 2005, (03): 37-41+55.

• 纳米硬质薄膜
• 硬度
• 纳米多层膜
• 纳米复合膜 nano-hard film
• hardness
• nano-multilayer film
• nano-composite film

介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景,综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展,对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些看法。