砷烷的纯化技术研究进展

作者：刘英杰; 景显东; 赵健; 常琳; 王雅婷

来源：低温与特气, 2022, 40(03): 9-13.

• 砷烷
• 纯化
• 应用进展

砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、Ga As、Ga As P生长，N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料，因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法，包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。