工作气压对TiO_2薄膜结构的影响

作者：李哲奎; 顾广瑞; 孙文斗; 李全军; 赵永年

来源：延边大学学报(自然科学版), 2004, (02): 96-99.

DOI：10.16379/j.cnki.issn.1004-4353.2004.02.005

• TiO2薄膜
• Raman光谱
• 金红石
• 锐钛矿 Titainum dioxide films
• Raman spectrum
• Rutile
• Anatase

用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜,Raman光谱测量表明,工作气压从0.2Pa变化到2Pa时,TiO2薄膜的结构由金红石相变化到锐钛矿相,厚度对TiO2薄膜结构没有明显影响.