差阻式压力类传感器感应膜片优化设计

作者：傅罗真

来源：工程技术研究, 2019, 4(23): 113-114.

DOI：10.19537/j.cnki.2096-2789.2019.23.055

• 感应膜片
• 力学性能
• 有限元
• 优化

差阻式压力类传感器主要包括差阻式土压力计、压应力计、渗压计等诸多种类,其感应膜片力学性能被认为是影响传感器灵敏度和线性度的主要因素之一。文章结合实践和有限元仿真,综合分析了感应膜片的弹性变形、应力应变、工艺处理等因素,提出感应膜片优化思路。试验表明,优化后的感应膜片,具有更合适的灵敏度和较好的线性度。

• 单位
  国网电力科学研究院