腔面镀膜对1342nm分布反馈半导体激光器输出功率的影响

作者：张煜俊; 闫长春; 陈建抗; 赵春龙; 罗帅; 徐鹏飞; 李璇

来源：红外, 2022, 43(11): 26-32.

• 1342nm
• 分布反馈
• 腔面镀膜
• 输出功率

为提高1342 nm分布反馈(Distributed Feedback, DFB)半导体激光器的输出功率，设计了三种腔面膜膜系组合。采用电子束蒸发镀膜技术对该激光器进行了腔面镀膜，并测试了其在三种膜系组合下的输出功率。结果表明，采用增透膜为基底(Sub)/Al2O3/Ta2O5/空气(Air)、高反膜为Sub/(Al2O3/Si)3Al2O3/Air的腔面膜膜系组合时，激光器的输出功率最高。前腔面反射率为0.2%,后腔面反射率为98.6%。在260 mA的直流电流下，平均输出功率达到了85 mW以上(增加了85.6%),斜率效率提升了82.9%。通过采用此膜系组合进行激光器腔面镀膜，可以大幅提升1342 nm DFB半导体激光器的输出功率。

• 单位
  江苏师范大学; 电子工程学院