ZEISS ULTRA 55场发射扫描电镜的使用及常见故障处理

作者：**^*; 孙峰; 余红华; 江丹; 林国辉; 曾丽珍; 汪一聪

来源：广东化工, 2020, 47(11): 195-196.

• 场发射扫描电镜
• 使用
• 故障处理

以ZEISS ULTRA 55场发射扫描电镜为例,详细阐述了扫描电镜的基本结构、工作原理与操作技巧,为扫描电镜的初学者和相关从业者提供一定的技术参考;同时介绍了在日常使用中遇到的故障及解决方法,强调了规范使用、细心维护与及时处理故障是保证扫描电镜正常运行、延长使用寿命和节约维修费用的关键。

• 单位
  华南师范大学